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doi:10.22028/D291-23831 | Titel: | A simple model for stress voiding in passivated thin film conductors |
| VerfasserIn: | Lloyd, J. R. Arzt, Eduard |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 1992 |
| Quelle: | Materials reliability in microelectronics II : symposium held April 27 - May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A. / ed.: C. V. Thompson ... - Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society, 1992. - (Materials Research Society symposium proceedings ; 265), S. 45-50 |
| Kontrollierte Schlagwörter: | Beanspruchung Modell Konduktor |
| DDC-Sachgruppe: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Dokumenttyp: | Konferenzbeitrag (in einem Konferenzband / InProceedings erschienener Beitrag) |
| Abstract: | A model is proposed for stress voiding in passivated thin film conductors. The rate limiting step is argued to be the formation of vacancies at dislocation jogs which then diffuse to void sites. |
| Link zu diesem Datensatz: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-17869 hdl:20.500.11880/23887 http://dx.doi.org/10.22028/D291-23831 |
| ISBN: | 1-558-99160-3 |
| Datum des Eintrags: | 3-Dez-2008 |
| Fakultät: | SE - Sonstige Einrichtungen |
| Fachrichtung: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
| Sammlung: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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